Способ очистки вакуумных насосов
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к эксплуатации диффузионных паромасляных насосов. Цель изобретения — упрощение процесса очистки рабочей полости диффузионного насоса от загрязнений. Способ заключается в растворении масляных отложений при помощи нагретой смеси одной части моноэтаноламина с двумя — тремя частями пергидроля (H 2 O 2 ) с последующим эмульгированием отложений и промыкой насоса дистиллированной водой. В результатте физико-химических процессов в ходе очистки достигается улучшение ее качества при уменьшении трудозатрат и расхода растворителя.
РЕСПУБЛИК (51) 5 F 04 В 37/02
К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 464! 714/3! -29 (22) 15.11.88 (46) 5.12.90. Бюл. № 46 (71) Львовский политехнический институт им. Ленинского комсомола (72) А. В. Ермаков и А. И. Евстигнеев (53) 621.521.8 (088.8) (56) Шехмейстер E. И, и др. Технологические работы в электровакуумном производстве. М.: В ыс ш а я школа, 1967, с. 81 — 84.
Изобретение относится к технологии очистки оборудования от отложений и может быть использовано в производстве при очистке вакуумных насосов от механических загрязнений и продуктов крекинга вакуумного масла.
Цель изобретения — упрощение процесса очистки, повышение его эффективности и качества, а также снижение расходных норм растворителя.
Способ реализуется следующим образом.
Диффузионный паромасляный насос отсоединяется от вакуумной системы. Б его рабочую полость заливают моноэтаноламин (МЭА) примерно на 1/5 часть его обьема, после чего насос помешают под вытяжную вентиляцию. Затем включают нагреватель насоса и доводят залитый МЭА до кипения (T 171 С). После закипания МЭА нагреватель диффузионного насоса отключают и в насос осторожно заливают пергидроль (Н20 ) в соотношении к МЭА (2 — 3):1.
При этом физический процесс растворения и десорбции молекул вакуумного масла и
ÄÄSUÄÄ 1613679 А 1
2 (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ВАКУУМНЫХ
НАСОСОВ (57) Изобретение относится к вакуумной технике. а именно к эксплуатации диффузионных паромасляных насосов. Цель изобретения — упрощение процесса очистки рабочей полости диффузионного насоса от загрязнений. Способ заключается в растворении масляных отложений при помощи нагретой смеси одной части моноэтаноламина с двумя — тремя частями пергидроля (НО) с последующим эмульгированием отложений и промывкой насоса дистиллированной водой. В результате физико-химических процессов в ходе очистки достигается улучшение ее качества при уменьшении трудозатрат и расхода растворителя, других отложений со стенок внутренней полости насоса дополняется химическим процессом, заключающимся в окислительновосстановительной реакции МЭА с НО., приводящей к образованию атомарного кислорода, который способствует деструкции отмываемых продуктов с последующим Нх эмульгированием с помощью поверхностно-активного МЭА. Насос закрывают крышкой и дают выдержку 0,5 — 1 ч. Как было установлено, что выдержка в течение 0,5 ч является минимальной, при которой происходит качественная очистка отмываемой поверхности парамасляного насоса. Выдержка моющей смеси более 1 ч не дает заметного улучшения качества очистки вакуумного насоса. После выдержки моющей смеси в течение указанного времени ее вместе с осадком сливают, насос 2 — 3 раза промывают дистиллированной водой и высушивают струей теплого воздуха либо непосредственно на воздухе.
При использовании данного способа нет необходимости разбирать всю систему для
Формула изобретения очистки от отложений и использовать допог нительное оборудование, при этом повыша тся качество и эффективность очистки, таК как моющий агент не только растворяет поверхностный слой масляных отложений, но и проникает вглубь их, а образующийся в результате химической реакции между компонентами моющего агента атомарный кислород способствует деструкцин отмываемых продуктов с последующим их, эмульгированием. Указанные преимущества способа приводят к уменьшению трудо ых затрат и времени процесса очистки, а 1гакже к уменьшению расхода растворите я и, следовательно, к уменьшению экспл1уатационных расходов в целом.
Способ очистки вакуумных насосов от отложений путем их растворения в моющем агенте и последующего его удаления дистиллированной водой, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса очистки, повышения его . качества и эффективности, в качестве моющего агента используют смесь
«О моноэтаноламина и пергидроли, причем раньше в рабочую полость вакуумного насоса заливают моноэтаноламин, доводят до кипения а затем добавляют пергидроль в соотношении 1: (2 — 3) и до удаления дистиллированной водой, выдерживают 0,5 — 1 ч.
Составитель К. Марьин
Редактор М. Келемеш Техред А. Кравчук Корректор С. Шевкун
Заказ 3876 Тираж 496 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКИТ СССР
113035, Москва, 7К вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101
Источник
Как ухаживать за вакууматором?
Выбирая технику для своей кухни, многие даже не рассматривают вакууматор как необходимый прибор. Не у всех есть понимание того, чем он может быть полезен, какие у него есть сферы применения, а еще — как ухаживать за вакууматором.
Как правильно использовать вакууматор
- Кладите внутрь только чистые пакеты с продуктами — они не должны пачкать рабочую камеру.
- Не запаивайте пакеты, заполненные до краев — оставляйте достаточно места для сварочного шва.
- Ухаживайте за вакууматором после каждого использования — убирайте крошки и пролитые жидкости, протирайте от пыли.
Нужно ли чистить вакуумный упаковщик
Уход за вакууматором начинается с первичной очистки. Это касается и компактных вакууматоров, и более крупных встраиваемых моделей, какие предлагает, например, Miele. У модели EVS 7010 внутренняя вакуумная камера имеет покрытие из нержавеющей стали, что серьезно упрощает процесс чистки прибора. Перед началом использования нужно лишь помыть его средством для посуды с помощью губчатой салфетки, смоченной в воде, а потом вытереть насухо.
Далее чистить вакууматор рекомендуется после каждого применения:
- выключить прибор;
- дождаться, когда остынет сварочная планка;
- поднять ее, чтобы облегчить процесс уборки;
- либо средством для мытья посуды, либо просто влажной салфеткой из микрофибры убрать загрязнения внутри вакуумной камеры;
- удалить остатки моющих средств и вытереть прибор насухо.
Обратите внимание: во время чистки нужно избегать попадания жидкости в отверстие вакуумного насоса.
Чтобы правильно ухаживать за вакууматором, нужно регулярно очищать стеклянную крышку. Для этого вам понадобится моющее средство для стекол или влажная салфетка из микрофибры. Важно не закрывать крышку после очищения вакууматора до тех пор, пока рабочая камера со всеми элементами не будет полностью сухой.
Время от времени вам также понадобится проводить цикл сушки. Это нужно для удаления влаги в системе циркуляции масла вакуумного насоса. О том, когда именно устроить цикл сушки, модель EVS 7010 подсказывает с помощью специального индикатора с изображением капли воды. Когда она загорается желтым цветом — необходима сушка. Вакууматор будет доступен для применения еще 10 раз, а после будет заблокирован, пока вы не проведете цикл сушки. Весь процесс займет не больше 20 минут.
Очищая вакууматор вроде EVS 7010, важно не пользоваться средствами с абразивными частицами. А также жесткими губками и щетками, которые могут оставить царапины. Также не подойдут средства для чистки духовых шкафов и бытовая химия для посудомоечных машин. А еще — составы, которые содержат соду, аммиак, щелочи, кислоты или хлориды. Таким образом, средства должны быть как можно менее агрессивными по воздействию, а в случае незначительных загрязнений достаточно будет и просто влажной салфетки с микрофиброй.
Особенности хранения вакууматора
Поддерживайте вакууматор в чистоте, соблюдайте правила. И тогда он будет служить вам с тем же качеством, что и абсолютно новый прибор, максимально долгое время. Если вы долгое время не пользуетесь устройством — держите его в закрытом состоянии и периодически стирайте пыль. Прочая информация об уходе за вакууматором подробно изложена в инструкции по эксплуатации. Изучите ее, когда прибор окажется на вашей кухне.
Есть опасения, что ухаживать за вакууматором сложно? К счастью, качественные современные модели продуманы до мелочей. Производители стремятся к тому, чтобы техника брала все заботы на себя. Благодаря этому после покупки вакууматора у вас не будет никаких сложностей — вы будете лишь наслаждаться результатом, используя все полезные функции прибора по максимуму. Кроме того, вам почти не придется думать о том, как поддерживать вакууматор в рабочем состоянии, обеспечивая ему правильный уход.
Получайте подборку новых статей на электронную почту
Источник
Масло для вакуумных насосов – выбор и порядок замены
Авторы: М.Л. Виноградов (ООО «ВАКТРОН» , официальный представитель Ulvac и Moresco в РФ);
Д.К. Кострин (Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»)
Опубликовано на портале «Химическая техника», август 2019
В данном обзоре приведены рекомендации по выбору и порядку замены масла вакуумного насоса. Рассмотрены масла для пластинчато-роторных, плунжерных, бустерных насосов типа Рутс и высоковакуумных диффузионных и эжекторных насосов. Помимо масел для чистых лабораторных применений приведены марки масел, адаптированных для откачивания паров воды, твердых частиц, кислорода и агрессивных веществ.
Специалисту, работающему с вакуумным оборудованием, необходимо обладать навыками оценки состояния рабочей жидкости в вакуумном насосе для проведения своевременной её замены. Корректный выбор и регулярная замена масла – это необходимое условие долговременной и устойчивой работы насоса и всей вакуумной установки.
Рабочие жидкости вакуумных насосов делятся на две группы:
- масла для механических насосов, например, пластинчато-роторных и бустерных насосов типа Рутс;
- масла для высоковакуумных струйных насосов, таких как диффузионные или бустерные эжекторные насосы.
По химическому составу масла для насосов бывают минеральные и синтетические. Перед выбором оптимального масла для вашей сферы применения следует провести диагностику состояния масла, залитого в вакуумный насос в настоящий момент.
Оценка состояния масла в насосе
Свойства вакуумного масла меняются не только от загрязнения и насыщения водой, но и со временем в течение эксплуатации и даже хранения. Для достижения в технологическом процессе давления, близкого к предельному давлению насоса, необходимо следить за маслом и проводить его замену с требуемой периодичностью. Оценка состояния масла в вакуумном насосе может быть выполнена с использованием цветовой таблицы (рис. 1, табл. 1).
Рис. 1. Цветовая таблица для оценки состояния масла в насосе
Шкала определения состояния вакуумного масла по цветовой таблице
Состояние вакуумного насоса | Цвет минерального масла | Цвет синтетического масла |
Хорошее состояние масла и вакуумного насоса | 0,5 – 1,5 | 0,5 – 2,5 |
Оттенки тёмно-жёлтого цвета с инородными включениями или непрозрачным, мутным цветом – требуется произвести замену масла | 2,0 – 3,5 | 3,0 – 5,0 |
Оттенок масла красного цвета говорит о необходимости промывки насоса. Промывка насоса должна проводиться только маслом, без использования каких-либо агрессивных жидкостей или растворителей | 4,0 – 4,5 | 5,5 – 6,5 |
Если в процессе эксплуатации масло в насосе меняет свой цвет до оттенков коричневого или черного цвета, то насосу требуется обслуживание и ремонт | 5,0 – 8,0 | 6,5 – 8,0 |
Периодичность замены масла в насосе
Вакуумное масло при эксплуатации деградирует, насыщается частицами пыли и влагой, превращается в эмульсию, темнеет и теряет свои рабочие свойства. Инженерам и техническим специалистам, работающим с вакуумными насосами, важно проверять уровень и цвет масла в насосе. Пропуск регламентной замены масла влечет за собой дорогостоящее техническое обслуживание или необходимость покупки нового насоса.
Периодичность замены масла указывается производителем вакуумного насоса в инструкции по эксплуатации. При этом срок использования масла должен быть скорректирован в соответствии с технологическим процессом и учетом условий эксплуатации насоса. В насосах для измерительного и аналитического оборудования, в лабораторных установках масло рекомендуется менять каждые шесть месяцев или каждые 3000 моточасов.
Промывка насоса от загрязнений
Достигаемое вакуумным насосом давление напрямую зависит от качества масла в насосе. Если в процессе эксплуатации давление откачивания изменяется, то надо закрыть изолирующий клапан на входе насоса и измерить давление, которое достигает насос при работе «без нагрузки». Если результат неудовлетворительный, и давление значительно отличается от паспортной характеристики насоса, то масло необходимо заменить.
При интенсивном использовании насоса на стенках насоса внутри корпуса и на участках маслораспределительного тракта могут скапливаться остаточные продукты технологического процесса в виде отложений шлака, грязи и влаги. Как правило, данные отложения имеют высокое давление паров и негативно сказываются на работе насоса.
По этой причине процедура замены масла подразумевает необходимость выполнить операцию промывки насоса. Для промывки следует использовать только вакуумное масло – новое или очищенное и профильтрованное использованное масло, свободное от влаги и твердых частиц.
Промывка заключается в многократных операциях слива масла из насоса для вымывания остаточных продуктов из корпуса насоса. По завершении промывки следует залить новое вакуумное масло, соответствующее по характеристикам типу насоса и технологическому процессу.
Рис. 2. Следы грязи и эмульсии внутри корпуса вакуумного насоса
Рис. 3. Процесс технического обслуживания вакуумного пластинчато-роторного насоса
Порядок замены масла на примере механического насоса
При откачке токсичных и опасных газов, не только сам насос, но и рабочие жидкости – вакуумные масла, использовавшиеся при эксплуатации насоса – становятся токсичными. При заливке масла необходимо использовать средства индивидуальной защиты, такие как резиновые перчатки.
Последовательность операций для замены масла:
- Перед сливом масла следует дать поработать насосу с открытым «на атмосферу» портом откачки 5 с. Это позволит более эффективно слить масло из насоса;
- Отсоединить трубки или другие элементы на выхлопе насоса, оставив выхлоп насоса свободным. Открытьсливной кран или открутить маслосливную пробку на корпусе насоса. Слить масло самотеком в заранее приготовленную емкость для масла, соблюдая меры предосторожности;
- Закрыть сливной клапан или закрутить маслосливную пробку на корпусе насоса и добавить требуемое количество нового масла в насос через маслоналивное отверстие. Включить насос на несколько минут и следить за состоянием масла. Если масло становится загрязненным, то надо остановить насос и слить отработанное масло. Затем долить следующую партию свежего масла, повторяя последовательность операций. Может потребоваться выполнить данные действия несколько раз, пока промывка насоса не завершится окончательно;
- По окончании промывки залить свежее масло, подключить насос к трубопроводам входа и выхлопа. Затем надо включить насос, прогреть его до требуемой температуры и проверить значение достигаемого давления;
- Если в насосе не обеспечивается требуемое давление после смены масла или промывка насоса не дает результата, и масло становится загрязненным очень быстро, то необходимо выполнить капитальный ремонт насоса в специализированном сервис-центре.
Критерии выбора масла для механического насоса
Идеальное масло для вакуумного насоса должно обладать следующими характеристиками:
- низкое давление насыщенного пара;
- вязкость, стабильная в рабочем диапазоне температур;
- устойчивость химического состава, в том числе при высоких температурах;
- инертность и нетоксичность;
- малая способность растворять газы:
- минимальная стоимость.
Рабочие жидкости синтетического происхождения превосходят по техническим характеристикам минеральные масла. Синтетическое масло имеет более точно воспроизводимые характеристики и устойчивый химический состав. Для высоковакуумных струйных насосов в настоящее время рекомендуется использовать только синтетические масла.
Минеральные масла, в свою очередь, обладают более низкой стоимостью. В табл. 2 и 3 приведены рекомендации по выбору масла для вакуумного насоса для определенных сфер технологического применения.
Определение типа масла для механических насосов
Сфера технологического применения | Быстрота откачки насосов | Химическое происхождение | Марка вакуумного масла |
Общепромышленное и лабораторное применение. Откачивание чистых неагрессивных газов | Для малогабаритных насосов менее 30 м 3 /ч ( 3 /ч (от 500 до 10 000 л/мин). | Минеральное | Moresco Neovac MR-200 |
Ulvoil MR-200 | |||
Ulvoil R-7 | |||
Вакуумирование систем с мелкими частицами и пылью. Выращивание кристаллов. Нанесение и осаждение покрытий | Минеральное | Moresco Neovac ST-200 (содержит добавки, связывающие абразивные частицы грязи и пыли) | |
Вакуумирование сосудов с конденсированными парами воды и сорбированными его стенками | Минеральное | Moresco Neovac MR-200A (содержит добавки для повышения устойчивости к образованию эмульсии и к окислению при откачивании паров воды) | |
Общепромышленное и лабораторное применение. Откачивание чистых неагрессивных газов | Для крупных насосов более 600 м 3 /ч (> 10 000 л/мин). Рекомендовано для насосов от 30 до 600 м 3 /ч с износом деталей | Минеральное | Moresco Neovac MR-250 (применяется также для насосов с увеличенными зазорами вследствие износа деталей) |
Вакуумирование сосудов с конденсированными парами воды и сорбированными его стенками | Минеральное | Moresco Neovac MR-250A (устойчиво к откачке влаги и паров воды) | |
Масло для применения в насосах Рутс | Масло для уплотнения приводного вала бустерных насосов Рутс | Минеральное | Moresco Neovac EP-83 для насосов Рутса |
Универсальное вакуумное масло. Откачивание газов с содержанием кислорода. Производство полупроводников, выращивание кристаллов, нанесение покрытий, ионная имплантация, эпитаксиальное осаждение, плазменное травление и очистка, реактивное ионное травление и плазменная очистка | Для малогабаритных насосов менее 30 м 3 /ч ( 3 /ч (от 500 до 10000 л/мин) | Синтетическое | Moresco Neovac SO-M (устойчиво к слабо коррозийным газам) |
Синтетическое | Ulvoil SO-M (устойчиво к слабо коррозийным газам) | ||
Универсальное вакуумное масло. Вакуумирование сосудов с галогенами, летучими твердыми веществами, окислителями и пирофорными веществами, с абразивными частицами. Производство полупроводников | Синтетическое | Moresco Neovac SA-M (инертно, устойчиво к агрессивным газам) | |
Для крупных насосов более 600 м 3 /ч (> 10 000 л/мин). Рекомендовано для насосов от 30 до 600 м 3 /ч с износом деталей | Синтетическое | Moresco Neovac SA-H (инертно, устойчиво к агрессивным газам) | |
Производство полупроводников, выращивание кристаллов, нанесение покрытий, ионная имплантация, эпитаксиальное осаждение, плазменное травление и очистка, реактивное ионное травление и плазменная очистка | Синтетическое | Moresco Neovac SO-H (устойчиво к слабо коррозийным газам) |
Определение типа масла для высоковакуумных струйных насосов
Сфера технологического применения | Быстрота откачки насосов | Химическое происхождение | Марка вакуумного масла |
Насосы общего применения. Создание электрических приборов и схем электроники;. Запаковывание продуктов и жидкостей. Переработка древесины и изготовка бумаги. Испытание частей и компонентов авиакосмических агрегатов в условиях низкого давления. Медицинское производство | Диффузионные вакуумные насосы 550…70 000 л/с | Синтетическое | Moresco Neovac SX для диффузионных насосов |
Синтетическое | Ulvoil D-11 для диффузионных насосов | ||
Процесс, требующие повышенную температурную устойчивость масла и особо низкие предельные давления. Насосы в напылительных установках, системах вакуумной сушки и плавки, в вакуумных печах в металлургической промышленности, полупроводниковой электронике и других отраслях. | Синтетическое | Moresco Neovac SY для диффузионных насосов (устойчиво к кислороду и агрессивным, токсичным парам) | |
Процессы, не допускающие попадания углеродосодержащих частиц | Силиконовое | Силиконовое масло Ulvoil D-31 для диффузионных насосов | |
Для откачивания больших потоков газов эжекторными (бустерными) насосами | Бустерные эжекторные насосы 8…8000 л/с | Синтетическое | Moresco Neovac DB-12 для бустерных эжекторных насосов |
Заключение
Для форвакуумного насоса, который эксплуатируется в нормальных условиях и работает с неагрессивными газами, может применяться минеральное масло.
Для малогабаритных форвакуумных насосов с быстротой откачивания менее 500 л/мин рекомендуются масла Moresco Neovac MR-100, Ulvoil SMR-100 и R-4. Их кинематическая вязкость составляет 50 мм 2 /с, а давление насыщенного пара – не более 10 -2 Па.
Для форвакуумных насосов с быстротой откачивания от 500 до 10 000 л/мин – масла Moresco Neovac MR-200, Ulvoil MR-200 и R-7. Вязкость масел типа MR-200 составляет 70 мм 2 /с, давление пара – ниже 10 -3 Па.
Для крупных насосов с быстротой откачивания более 10 000 л/мин предназначается масло Moresco Neovac MR-250, вязкость – 105 мм 2 /с, давление пара – не более 10 -3 Па.
При откачивании паров воды – Moresco Neovac MR-200A и Moresco Neovac MR-250A.
При вакуумировании сред с абразивными частицами – Moresco Neovac ST-200.
Синтетическое вакуумное масло необходимо при работе при высоких нагрузках и температурах, а также при воздействии агрессивных сред, кислорода и смесей с хлоридами и фторидами.
Синтетическое масло для механических насосов с быстротой откачивания менее 500 л/мин с антиокислительными добавками и устойчивостью к активным газам – Moresco Neovac SA-L и Ulvoil R-2 (вязкость – 30 мм 2 /с, давление насыщенного пара – ниже 4 . 10 -4 Па).
Moresco Neovac SA-M – это рабочая жидкость с антикоррозионными свойствами. Оно предназначено для насосов средней быстроты откачивания, в том числе применяемых в полупроводниковой и холодильной промышленности (вязкость – 64 мм 2 /с, давление пара – ниже 4 . 10 -4 Па).
Масло вакуумное Moresco Neovac SA-H – это синтетическое масло для крупных насосов с быстротой откачивания от 10 000 л/мин. Данное масло применяется в насосах с масляным уплотнением для откачивания активных газов, паров кислот в процессах травления, химического осаждения из паровой фазы LPCVD, при высоких температурах и нагрузках (вязкость – 95 мм 2 /с, давление пара ниже 4 . 10 -5 Па).
Масла для высоковакуумных струйных насосов должны быть подобраны особенно тщательно. В данной сфере используются силиконовые масла. Основными требованиями к ним являются низкое давление пара, высокая термическая стабильность, высокая устойчивость к атмосферному кислороду при нагревании, высокая молекулярная масса, отсутствие горючести и токсичности.
Масло для бустерных эжекторных насосов – Moresco Neovac DB-12 (вязкость – 24 мм 2 /с, давление насыщенного пара – не более 6 . 10 -4 Па, температура вспышки 212 o C, молекулярная масса 335). Бустерные масляные насосы применяются в вакуумных печах и установках, требующих откачивания больших потоков и максимальной производительности в диапазоне давлений рабочего вакуума до 0,1 Па. Данные насосы широко применяются в металлургии, а также в химическом производстве и на установках напыления на рулонные материалы.
Масло для диффузионных насосов общего применения – Moresco Neovac SX (вязкость – 22 мм 2 /с, давление насыщенного пара – не более 7 . 10 -6 Па, температура вспышки 235 o C, молекулярная масса 394). Диффузионные насосы отличаются от бустерных эжекторных насосов возможностью откачивания до более низкого предельного остаточного давления, поэтому требования к давлению паров масла для диффузионных насосов выше.
Масло с повышенной температурной стойкостью для диффузионных насосов – Moresco Neovac SY (вязкость – 26 мм 2 /с, давление насыщенного пара – не более 1 . 10 -6 Па, температура вспышки 240 o C, молекулярная масса 422). Это синтетическое масло, устойчивое к окислению при высоких температурах и к загрязнениям откачиваемой среды.
Замена масла должна производиться согласно инструкции по эксплуатации насоса с учетом особенностей сферы применения, но не реже, чем каждые шесть месяцев или каждые 3000 моточасов. В насосах аналитического оборудования в лабораторных условиях масло рекомендуется менять каждые шесть месяцев. Это справедливо для масс-спектрометрических течеискателей, микроскопов, спектрометров, хроматографов и другого высокотехнологичного оборудования, работающего с неагрессивными газами. Промышленное применение и активная откачиваемая среда вызывают необходимость в более частой смене рабочей жидкости вакуумного насоса.
Список литературы
Источник